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    冷水機在真空鍍膜機中的作用

    2022-07-01 14:52:52

    幾乎所有型號的真空鍍膜機都配有冷水機。在鍍膜過程中,對于需要真空鍍膜機冷卻的部件,在合適的溫度下進行冷卻,冷水機起著不可或缺的作用。

    中頻真空鍍膜機一般配備冷水機作為鍍膜機(主要是圓柱靶)的冷卻設備。那么冷水機在真空鍍膜工藝或鍍膜設備中起到什么作用呢?沒有冷水機的影響是什么?

    真空鍍膜的工作原理是薄膜體在高溫下蒸發掉在工件表面。因為空氣對膜分子的蒸發會產生阻力導致碰撞,使晶體變得粗糙沒有光,所以必須在高真空下使晶體細而亮,如果真空不高,晶體會失去光澤粘合也很差。早期真空鍍膜靠蒸發體自然散射,粘結效率差,光澤度低。

    現在加上中頻磁控濺射靶用磁控濺射靶將蒸發的膜體分子在電場的作用下加速轟擊靶體,濺射出大量的目標原子,中性目標原子(或分子)沉積在基底膜上,解決了以往自然蒸發無法加工的薄膜品種,如鍍鈦鋯等。

    真空鍍膜機


    如果設備必須加冷卻水,因為其電流頻率高。當電流在導體中流動時,會產生集膚效應,電荷會聚集在電導的表面積上,使電導升溫,因此導體采用中間有水的介孔管進行冷卻。

    (主要是圓柱形靶)為什么要水冷卻?磁控濺射靶在射擊過程中產生高溫使槍變形,因此它有一個水套來冷卻槍。同時,磁控濺射能被認為是涂層技術中最杰出的成就之一,還有一個重要的原因。具有濺射速率高、襯底溫升低、膜基結合力好等特點。

    從更深入的層面研究了電子在非均勻電磁場中的運動,討論了磁控濺射的更一般的原理,橫向磁場的非均勻性和對稱性是磁約束的根本原因。磁控濺射是涂層技術中最突出的成就之一。具有濺射速率高、基片溫升低、膜基結合力好、器件性能穩定等特點。


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