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    真空鍍膜設備抽氣系統介紹

    2022-10-09 10:45:40

       真空鍍膜設備是在真空狀態下進行鍍制膜層的,因此真空鍍膜設備必須要配置真空系統,才能讓真空鍍膜設備腔體里面達到所需要的真空狀態,才能讓基材和靶材、氣體在真空狀態下進行物理氣相沉積反應,讓靶材的原子和分子達到基材表面,完成我們所需要的顏色、功能性、厚度等膜層。那么真空系統由哪些部件組成呢,下面匯成真空小編為大家詳細介紹一下,希望能幫助到大家:


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           真空抽氣系統,也稱排氣系統,是真空鍍膜機真空系統非常重要的部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。


           機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。


           機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。


           機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處于水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積大,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的松緊度有關系,當電機的皮帶比較松,電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。


           機械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子里面但與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。


          真空鍍膜設備,顧名思義是需要在真空狀態下工作,因此稱為真空鍍膜設備,真空鍍膜設備必不可少需要真空抽氣系統,才能進行真空狀態下工作。


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